Разработка сверхточных станков является важной предпосылкой развития сверхточной обработки. В последние годы развитые страны успешно разработали множество передовых сверхточных обрабатывающих станков. Направление развития сверхточных станков заключается в дальнейшем повышении точности сверхточных станков, разработке крупногабаритных сверхточных станков и разработке многофункциональных и высокоэффективных сверхточных станков специального назначения.
США, Великобритания, Германия и другие страны начали производить сверхточные станки в 1970-х (Япония в 1980-х) и могут поставлять их партиями. Что касается крупногабаритных сверхточных станков, то Национальная лаборатория LLL в США в 1986 году успешно разработала два крупногабаритных сверхточных алмазных токарных станка: один из них представляет собой горизонтальный алмазный токарный станок DTM-3 с диаметром обработки 2,1 м, а другой диаметр обработки 1,65 м. Вертикальный большой оптический алмазный станок LODTM. Среди них вертикальный большой оптический алмазный станок LODTM признан сверхточным станком с самой высокой точностью в мире. Позднее в Соединенных Штатах был разработан крупномасштабный 6-осевой станок с ЧПУ для прецизионной шлифовки больших оптических зеркал.
Британский центр прецизионной обработки Cranfield в 1991 году успешно разработал многофункциональный трехкоординатный шлифовальный станок с ЧПУ OAGM-2500 (площадь стола 2500 мм × 2500 мм), который может обрабатывать (шлифовать, точить) и измерять прецизионные поверхности произвольной формы. Станок использует метод сращивания заготовок, а также может обрабатывать большие зеркала диаметром 7,5 м в астрономических телескопах.
Японские многофункциональные и высокоэффективные сверхточные станки специального назначения быстро развивались, что сыграло хорошую роль в развитии японской микроэлектроники и бытовой техники.